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2013年8月30日-該項(xiang)目(mu)的主要(yao)目(mu)的是為高(gao)壓碳(tan)化(hua)硅(gui)電力電子(zi)(zi)器件的制造提供關鍵設備和(he)工藝,其(qi)中(zhong)包括(kuo)4-6寸碳(tan)化(hua)硅(gui)單晶生(sheng)長爐、碳(tan)化(hua)硅(gui)外(wai)延(yan)生(sheng)長爐和(he)碳(tan)化(hua)硅(gui)高(gao)溫高(gao)能離子(zi)(zi)注入機的。

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