化學機械研磨后清洗技術簡介_百度文庫
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芯(xin)片(pian)制(zhi)造化學機械(xie)研磨廢(fei)水(shui)處理回用摘要:化學機械(xie)研磨廢(fei)水(shui)產生量大但總體污染物濃(nong)度不高,回用潛力巨大,其處理及回用技(ji)術(shu)是芯(xin)片(pian)制(zhi)造企業的研究。文(wen)章。
化學機械研磨廢水處理及回用技術的研究進展-《環境科學與技術》
“楔形”TEM樣品的機(ji)械研磨制(zhi)備技術張啟華(hua),趙燕麗,高(gao)強,李明(ming),牛崇實,簡維廷(ting)(中芯國際集(ji)成電路制(zhi)造有限公司,上(shang)海201203)摘要:介(jie)紹(shao)了一種用(yong)機(ji)械。
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本(ben)發明(ming)提(ti)(ti)供(gong)了一種化學機械研磨的方法(fa),包(bao)括下列步驟:提(ti)(ti)供(gong)半(ban)導體襯(chen)底,所述半(ban)導體襯(chen)底上具有介質層(ceng),所述介質層(ceng)內包(bao)含通孔和(he)/或(huo)溝(gou)槽;在介質層(ceng)上及(ji)通孔和(he)/或(huo)溝(gou)槽的。
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一種化學機械研磨的方法_百度搜索
2006年12月18日(ri)-近日(ri),應用材(cai)料公(gong)司宣(xuan)布為200mmCMP(化學機械研(yan)磨(mo))系統(tong)推(tui)出創新(xin)的AppliedDuraPadCMP(化學機械研(yan)磨(mo))拋光(guang)墊(dian)技(ji)術。DuraPad的使(shi)用壽命(ming)比現有的研(yan)磨(mo)墊(dian)少延長了(le)。
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2012年1月18日-什么是研磨加工(gong)?發布時間:2013-01-18來源:機械專(zhuan)家網利用涂敷(fu)或壓(ya)嵌在研具上的磨料顆粒(li),通過研具與工(gong)件(jian)在一(yi)定壓(ya)力。
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先進銅化學機械研磨技術半導體工藝突破65nm節點-測試與測量-
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機械加工中哪些用到研磨工藝_百度知道
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襄(xiang)樊美均(jun)機(ji)械技術檢(jian)測有(you)限公司-企業簡介公司主營:拋光劑,研磨膏,鑲嵌料,切割(ge)機(ji),研磨機(ji)襄(xiang)樊均(jun)美檢(jian)測技術有(you)限公司成立于一九九九年,位(wei)處于湖北省襄(xiang)樊市二汽。